CVDとは？ 半導体製造では，回転ディスクCVD（Chemical Vapor Deposition:化学蒸着法）反応器を用い薄膜を形成させます．このときの薄膜の堆積やエッチング速度を特定するのには数値シミュレーションが役立ちます．CVDは化学種の輸送，